|
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械 真空泵可以滿足要求； 4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
微型干式真空泵應(yīng)用范圍 相關(guān)文章
2BV型水環(huán)式真空泵的概述及特點
美孚真空泵油特性、優(yōu)點、應(yīng)用范圍
智能真空泵詳細(xì)介紹及實例
智能真空泵性能特點
旋片真空泵機(jī)械使用
真空泵機(jī)械安裝
|
