真空系統(tǒng)中真空泵所用的材料可分為結(jié)構(gòu)和輔助材料。前者是構(gòu)成真空系統(tǒng)的主要材料.它將真空與大氣隔開(kāi)。承受大氣壓力一般是金屬和/或玻璃。后者指彈性密封材料、絕緣材料、金屬密封材料。吸附劑(用于吸水、擋油和吸氣的物理的、物理化學(xué)的和化學(xué)的吸附劑)和真空油脂材料(真空泵油、真空脂、真空泥、真空蠟、真空漆、真空密封膠)等等。

科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，特別是計(jì)算機(jī)、微電子、生物工程、材料科學(xué)、表面科學(xué)、航天和航海工程等領(lǐng)域的快速發(fā)展，對(duì)真空科學(xué)的要求越來(lái)越高。例如，在納米級(jí)電子材料和元器件的開(kāi)發(fā)中，不僅要求真空系統(tǒng)達(dá)到超高真空和真空氣氛清潔無(wú)油.而且要耐腐蝕、耐粉塵。為此.制造各種干式泵、耐腐蝕泵，進(jìn)一步發(fā)展磁懸浮式分子泵和以陶瓷轉(zhuǎn)子取代金屬轉(zhuǎn)子來(lái)避免由于強(qiáng)磁場(chǎng)及等離子體而產(chǎn)生渦流發(fā)熱的新型渦輪分子泵等真空獲得設(shè)備，是很必要的。在真空測(cè)量方面，我國(guó)與國(guó)外也存在較大的差距，主要表現(xiàn)在真空規(guī)管的結(jié)構(gòu)、電子線(xiàn)路的設(shè)計(jì)、集成電路和自動(dòng)換擋及數(shù)字顯示等新技術(shù)的采用上，以及極高真空測(cè)量和特殊條件下的真空測(cè)量。促進(jìn)我國(guó)真空測(cè)量?jī)x器技術(shù)向多用化、自動(dòng)化及體積小、外形美等方面發(fā)展，是一項(xiàng)艱巨任務(wù)。